扩散/退火/氧化设备是用于半导体制造环节中重要热工艺设备。
扩散/退火/氧化设备是用于半导体制造环节中重要热工艺设备。
工作效率低
设备维护难
通讯系统复杂
品质管控差
控制精度低
主要采用英孚康ICC系列PLC、ICM系列伺服、ICD系列远程IO等产品。整体设备采用分布式、模块化控制,效率高、安全性强,操控方式简洁方便,100%自主知识产权控制系统稳定性强,可无差别替代国外知名品牌,无需修改尺寸/无需更改逻辑程序/可实现混合使用。
全ICC系列控制器,体积小,性能强,最大支持128轴伺服控制。
国产化,生产周期短,响应快,并可辅助备货,减少用户备件压力。
伺服驱动器采用预设的 eCAM 运动曲线,可确保运行平滑无震动,从而延长机器寿命。
开放和标准的的网络资源库,提升智能设备的开放性和信息化能力。
支持一网到底,模块化控制,更简单更高效。